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產(chǎn)品詳細頁(yè)
寫(xiě)真化學(xué)膜厚測量裝置
- 產(chǎn)品型號：反射/透射
- 更新時(shí)間：2024-03-21
- 產(chǎn)品介紹：寫(xiě)真化學(xué)膜厚測量裝置分為：標準型號、紅外透射式型號、自動(dòng)映射膜厚儀、成像膜厚儀
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產(chǎn)品介紹
寫(xiě)真化學(xué)膜厚測量裝置
標準型號可測量膜厚對象：
抗蝕劑厚度
多孔膜
ITO
多晶硅
電池電極
玻璃粘合晶片
端點(diǎn)檢測
貼合晶片等
自動(dòng)映射膜厚儀
可測量膜厚對象：
抗蝕劑厚度
貼合晶片
多孔膜
ITO
多晶硅
電池電極
玻璃粘合晶片
帶圖案晶片等
分為：標準型號、紅外透射式型號、自動(dòng)映射膜厚儀、成像膜厚儀
寫(xiě)真化學(xué)膜厚測量裝置
通用型膜厚監視器(標準型號)
● 可用作端點(diǎn)監視器
● 也可以對應粘接劑層、玻璃層等通常較難測量的材料
通用型膜厚監視器(紅外透射式型號)
● 對應反射弱的薄膜材料
● 可對應卷對卷測量
自動(dòng)映射膜厚儀
● 除了高速自動(dòng)映射、等高線(xiàn)、3D圖顯示之外，還自動(dòng)解析直方圖等統計信息
● 標準對應φ100～300mm的圓形晶圓，也可對應方形被測物等特殊形狀，可選配定制載物臺板
● 可對應選配項目中的自動(dòng)校準
成像膜厚儀
● 微細二維膜厚分布原位的可視化
● 通過(guò)在GUI上區域，計算微小區域的膜厚